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SOI構造におけるシリコン結晶薄膜中の欠陥評価

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SOI構造におけるシリコン結晶薄膜中の欠陥評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H06650023
国立国会図書館書誌ID
000006998728
資料種別
図書
著者
中島, 寛, 九州大学
出版者
-
出版年
1994-1996
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
SOI構造におけるシリコン結晶薄膜中の欠陥評価
タイトルよみ
SOI コウゾウ ニ オケル シリコン ケッショウ ハクマク チュウ ノ ケッカン ヒョウカ
著者・編者
中島, 寛, 九州大学
著者標目
中島, 寛 ナカシマ, ヒロシ
出版年月日等
1994-1996
出版年（W3CDTF）
1994
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
シリコン シリコン
SOI (Silicon on Insulator) SOI (SILICONONINSULATOR)
欠陥 ケツカン
接合過渡電流法 セツゴウカトデンリユウホウ
電流DLTS デンリユウDLTS