SOI構造におけるシリコン結晶薄膜中の欠陥評価

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Material Type: 図書
Title: SOI構造におけるシリコン結晶薄膜中の欠陥評価
Title Transcription: SOI コウゾウニオケルシリコンケッショウハクマクチュウノケッカンヒョウカ
Author/Editor: 中島, 寛, 九州大学
Author Heading: 中島, 寛ナカシマ, ヒロシ
Publication Date: 1994-1996
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: シリコンシリコン
SOI (Silicon on Insulator) SOI (SILICONONINSULATOR)
欠陥ケツカン
接合過渡電流法セツゴウカトデンリユウホウ
電流DLTS デンリユウDLTS
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650023
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06650023
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006998728
http://id.ndl.go.jp/bib/000006998728
Bibliographic Record Category (NDL): 214