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超薄膜シリコンの物性と構造のRHEED・電気伝導度測定法による研究

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超薄膜シリコンの物性と構造のRHEED・電気伝導度測定法による研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H06650038
国立国会図書館書誌ID
000006998735
資料種別
図書
著者
谷城, 康眞, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
超薄膜シリコンの物性と構造のRHEED・電気伝導度測定法による研究
タイトルよみ
チョウハクマク シリコン ノ ブッセイ ト コウゾウ ノ RHEED ・ デンキ デンドウド ソクテイホウ ニ ヨル ケンキュウ
著者・編者
谷城, 康眞, 東京工業大学
著者標目
谷城, 康眞 タニシロ, ヤスマサ
出版年月日等
1994-1995
出版年（W3CDTF）
1994
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
RHEED RHEED
電気伝導 デンキデンドウ
表面界面物性 ヒヨウメンカイメンブツセイ
Si SI
CaF2 CAF2
SOI SOI