超薄膜シリコンの物性と構造のRHEED・電気伝導度測定法による研究

• Material Type: 図書
• Title: 超薄膜シリコンの物性と構造のRHEED・電気伝導度測定法による研究
• Title Transcription: チョウハクマク シリコン ノ ブッセイ ト コウゾウ ノ RHEED ・ デンキ デンドウド ソクテイホウ ニ ヨル ケンキュウ
• Author/Editor: 谷城, 康眞, 東京工業大学
• Author Heading: 谷城, 康眞 タニシロ, ヤスマサ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: RHEED RHEED; 電気伝導 デンキデンドウ; 表面界面物性 ヒヨウメンカイメンブツセイ; Si SI; CaF2 CAF2; SOI SOI
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650038
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650038
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006998735; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998735
• Bibliographic Record Category (NDL): 214