異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生

• 資料種別: 図書
• タイトル: 異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生
• タイトルよみ: イシュウハ ノ ハイブリツド ケツゴウ ニ ヨル ダイ ヨウリョウ,ダイコウケイ ユウドウ ネツ プラズマ ノ ハッセイ
• 著者・編者: 作田, 忠裕, 金沢大学
• 著者標目: 作田, 忠裕 サクタ, タダヒロ
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 熱プラズマ ネツプラズマ; 誘導プラズマ ユウドウプラズマ; プラズマ・プロセシング プラズマ・プロセシング; 大口径 ダイコウケイ; 低周波磁界 テイシユウハジカイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06650322
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06650322
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006998894; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998894
• 整理区分コード: 214