異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生

• Material Type: 図書
• Title: 異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生
• Title Transcription: イシュウハ ノ ハイブリツド ケツゴウ ニ ヨル ダイ ヨウリョウ,ダイコウケイ ユウドウ ネツ プラズマ ノ ハッセイ
• Author/Editor: 作田, 忠裕, 金沢大学
• Author Heading: 作田, 忠裕 サクタ, タダヒロ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 熱プラズマ ネツプラズマ; 誘導プラズマ ユウドウプラズマ; プラズマ・プロセシング プラズマ・プロセシング; 大口径 ダイコウケイ; 低周波磁界 テイシユウハジカイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650322
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650322
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006998894; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998894
• Bibliographic Record Category (NDL): 214