異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生

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Material Type: 図書
Title: 異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生
Title Transcription: イシュウハノハイブリツドケツゴウニヨルダイヨウリョウ,ダイコウケイユウドウネツプラズマノハッセイ
Author/Editor: 作田, 忠裕, 金沢大学
Author Heading: 作田, 忠裕サクタ, タダヒロ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 熱プラズマネツプラズマ
誘導プラズマユウドウプラズマ
プラズマ・プロセシングプラズマ・プロセシング
大口径ダイコウケイ
低周波磁界テイシユウハジカイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650322
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06650322
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006998894
http://id.ndl.go.jp/bib/000006998894
Bibliographic Record Category (NDL): 214