高密度プラズマで合成したダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜の特性制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高密度プラズマで合成したダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜の特性制御
• タイトルよみ: コウミツド プラズマ デ ゴウセイ シタ ダイヤモンド ・ ライク ・ カーボン ハクマク ノ トクセイ セイギョ
• 著者・編者: 田邊, 靖博, 東京工業大学
• 著者標目: 田邊, 靖博 タナベ, ヤスヒロ
• 出版年月日等: 1994-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 炭素薄膜 タンソハクマク; 特性 トクセイ; sp2/sp3結合 SP2/SP3ケツゴウ; 電子線照射 デンシセンシヨウシヤ; プラズマ プラズマ; 制御 セイギヨ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06650739
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06650739
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006999166; http://id.ndl.go.jp/bib/000006999166
• 整理区分コード: 214