高密度プラズマで合成したダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜の特性制御

• Material Type: 図書
• Title: 高密度プラズマで合成したダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜の特性制御
• Title Transcription: コウミツド プラズマ デ ゴウセイ シタ ダイヤモンド ・ ライク ・ カーボン ハクマク ノ トクセイ セイギョ
• Author/Editor: 田邊, 靖博, 東京工業大学
• Author Heading: 田邊, 靖博 タナベ, ヤスヒロ
• Publication Date: 1994-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 炭素薄膜 タンソハクマク; 特性 トクセイ; sp2/sp3結合 SP2/SP3ケツゴウ; 電子線照射 デンシセンシヨウシヤ; プラズマ プラズマ; 制御 セイギヨ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650739
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650739
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006999166; http://id.ndl.go.jp/bib/000006999166
• Bibliographic Record Category (NDL): 214