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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ユウデンタイ ハクマク ノ セイチョウソ カテイ ニ オヨボス エネルギービーム ショウシャ ノ エイキョウ
- 著者・編者
- 上條, 栄治, 龍谷大学
- 出版年月日等
- 1994-1995
- 出版年（W3CDTF）
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 誘電体薄膜 ユウデンタイハクマクダイヤモンド状炭素 (DLC) 薄膜 ダイヤモンドジヨウタンソ (DLC) ハクマクAIN薄膜 AINハクマク複合イオンビームスパツタ法 フクゴウイオンビームスパツタホウ電子サイクロトロン共鳴スパツタ法 デンシサイクロトロンキヨウメイスパツタホウエネルギービーム照射 エネルギービームシヨウシヤ原子間力顕微鏡 (AFM) ゲンシカンリヨクケンビキヨウ (AFM)表面微構造 ヒヨウメンビコウゾウ