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誘電体薄膜の成長素過程に及ぼすエネルギービーム照射の影響

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誘電体薄膜の成長素過程に及ぼすエネルギービーム照射の影響

Call No. (NDL)
Y151-H06650753
Bibliographic ID of National Diet Library
000006999172
Material type
図書
Author
上條, 栄治, 龍谷大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title
誘電体薄膜の成長素過程に及ぼすエネルギービーム照射の影響
Title Transcription
ユウデンタイ ハクマク ノ セイチョウソ カテイ ニ オヨボス エネルギービーム ショウシャ ノ エイキョウ
Author/Editor
上條, 栄治, 龍谷大学
Author Heading
著者 ： 上條, 榮治, 1935- カミジョウ, エイジ, 1935- ( 00877928 )Authorities
竜谷大学 リュウコク ダイガク ( 00298266 )Authorities
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
冊
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
誘電体薄膜 ユウデンタイハクマク
ダイヤモンド状炭素 (DLC) 薄膜 ダイヤモンドジヨウタンソ (DLC) ハクマク
AIN薄膜 AINハクマク
複合イオンビームスパツタ法 フクゴウイオンビームスパツタホウ
電子サイクロトロン共鳴スパツタ法 デンシサイクロトロンキヨウメイスパツタホウ
エネルギービーム照射 エネルギービームシヨウシヤ
原子間力顕微鏡 (AFM) ゲンシカンリヨクケンビキヨウ (AFM)
表面微構造 ヒヨウメンビコウゾウ