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高密度誘導結合プラズマによる金属の窒化・浸炭とバイアス電圧印加効果

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高密度誘導結合プラズマによる金属の窒化・浸炭とバイアス電圧印加効果

国立国会図書館請求記号
Y151-H06650814
国立国会図書館書誌ID
000006999213
資料種別
図書
著者
明石, 和夫, 東京理科大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウミツド ユウドウ ケツゴウ プラズマ ニ ヨル キンゾク ノ チッカ ・ シンタン ト バイアス デンアツ インカ コウカ
著者・編者
明石, 和夫, 東京理科大学
著者標目
明石, 和夫 アカシ, カズオ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
高密度プラズマ コウミツドプラズマ
誘導結合 ユウドウケツゴウ
窒化 チツカ
滲炭 シンタン
バイアス電圧 バイアスデンアツ
窒化鉄 チツカテツ
窒化チタン チツカチタン
高周波 コウシユウハ