高密度誘導結合プラズマによる金属の窒化・浸炭とバイアス電圧印加効果

• Material Type: 図書
• Title: 高密度誘導結合プラズマによる金属の窒化・浸炭とバイアス電圧印加効果
• Title Transcription: コウミツド ユウドウ ケツゴウ プラズマ ニ ヨル キンゾク ノ チッカ ・ シンタン ト バイアス デンアツ インカ コウカ
• Author/Editor: 明石, 和夫, 東京理科大学
• Author Heading: 明石, 和夫 アカシ, カズオ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 高密度プラズマ コウミツドプラズマ; 誘導結合 ユウドウケツゴウ; 窒化 チツカ; 滲炭 シンタン; バイアス電圧 バイアスデンアツ; 窒化鉄 チツカテツ; 窒化チタン チツカチタン; 高周波 コウシユウハ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650814
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650814
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006999213; http://id.ndl.go.jp/bib/000006999213
• Bibliographic Record Category (NDL): 214