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高機能振動形センサに関する共同研究

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高機能振動形センサに関する共同研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07044114
国立国会図書館書誌ID
000007001933
資料種別
図書
著者
江刺正喜, 東北大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウキノウ シンドウケイ センサ ニ カンスル キョウドウ ケンキュウ
著者・編者
江刺正喜, 東北大学
著者標目
江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )典拠
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 国際学術研究
件名標目
振動子 シンドウシ
センサ センサ
振動形センサ シンドウガタセンサ
角速度センサ カクソクドセンサ
原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
容量検出 ヨウリヨウケンシユツ
静電駆動 セイデンクドウ
静電サーボ セイデンサーボ