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図書

高機能振動形センサに関する共同研究

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高機能振動形センサに関する共同研究

Call No. (NDL)
Y151-H07044114
Bibliographic ID of National Diet Library
000007001933
Material type
図書
Author
江刺正喜, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウキノウ シンドウケイ センサ ニ カンスル キョウドウ ケンキュウ
Author/Editor
江刺正喜, 東北大学
Author Heading
江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
1996
Extent
Additional Title
研究種目 国際学術研究
Subject Heading
振動子 シンドウシ
センサ センサ
振動形センサ シンドウガタセンサ
角速度センサ カクソクドセンサ
原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
容量検出 ヨウリヨウケンシユツ
静電駆動 セイデンクドウ
静電サーボ セイデンサーボ