プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマプロセス用大面積プラズマの生成
• タイトルよみ: プラズマプロセスヨウ ダイ メンセキ プラズマ ノ セイセイ
• 著者・編者: 佐藤, 徳芳, 東北大学
• 著者標目: 佐藤, 徳芳 サトウ, ノリヨシ
• 出版年月日等: 1995-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 国際学術研究
• 件名標目: 大口径プラズマ ダイコウケイプラズマ; 均一プラズマ キンイツプラズマ; ECRプラズマ ECRプラズマ; RFプラズマ RFプラズマ; マグネトロン型プラズマ マグネトロンガタプラズマ; ヘリコン波 ヘリコンハ; 誘導結合プラズマ ユウドウケツゴウプラズマ; ラジカル ラジカル
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07044308
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07044308
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007001939; http://id.ndl.go.jp/bib/000007001939
• 整理区分コード: 214