プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: プラズマプロセス用大面積プラズマの生成
Title Transcription: プラズマプロセスヨウダイメンセキプラズマノセイセイ
Author/Editor: 佐藤, 徳芳, 東北大学
Author Heading: 佐藤, 徳芳サトウ, ノリヨシ
Publication Date: 1995-1995
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目国際学術研究
Subject Heading: 大口径プラズマダイコウケイプラズマ
均一プラズマキンイツプラズマ
ECRプラズマ ECRプラズマ
RFプラズマ RFプラズマ
マグネトロン型プラズママグネトロンガタプラズマ
ヘリコン波ヘリコンハ
誘導結合プラズマユウドウケツゴウプラズマ
ラジカルラジカル
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07044308
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07044308
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007001939
http://id.ndl.go.jp/bib/000007001939
Bibliographic Record Category (NDL): 214