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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- フクゴウ レーザ ニ ヨル タソウ チョウハクマク マイクロアクチユエータ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 池田, 正幸, 北海道大学
- 著者標目
- 池田, 正幸 イケダ, マサユキ
- 出版年月日等
- 1995-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- 超薄膜 チヨウハクマク形状記憶合金膜 ケイジヨウキオクゴウキンマクバイメタル バイメタルセラミツクス薄膜 セラミツクスハクマク強誘電体薄膜 キヨウユウデンタイハクマク積層薄膜アクチユエータ セキソウハクマクアクチユエータレーザアブレーシヨン レーザアブレーシヨン絶縁超薄膜 ゼツエンチヨウハクマク