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複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチユエータの研究

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複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチユエータの研究

Call No. (NDL)
Y151-H07405009
Bibliographic ID of National Diet Library
000007002452
Material type
図書
Author
池田, 正幸, 北海道大学
Publisher
-
Publication date
1995-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
フクゴウ レーザ ニ ヨル タソウ チョウハクマク マイクロアクチユエータ ノ ケンキュウ
Author/Editor
池田, 正幸, 北海道大学
Author Heading
池田, 正幸 イケダ, マサユキ
Publication Date
1995-1998
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
超薄膜 チヨウハクマク
形状記憶合金膜 ケイジヨウキオクゴウキンマク
バイメタル バイメタル
セラミツクス薄膜 セラミツクスハクマク
強誘電体薄膜 キヨウユウデンタイハクマク
積層薄膜アクチユエータ セキソウハクマクアクチユエータ
レーザアブレーシヨン レーザアブレーシヨン
絶縁超薄膜 ゼツエンチヨウハクマク