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イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲツタリング機構の定量的解析

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イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲツタリング機構の定量的解析

国立国会図書館請求記号
Y151-H07455010
国立国会図書館書誌ID
000007002995
資料種別
図書
著者
友清, 芳二, 九州大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
イメージングプレート ・ デンシ カイセツ ニ ヨル ハンドウタイ デバイス ノ ゲツタリング キコウ ノ テイリョウテキ カイセキ
著者・編者
友清, 芳二, 九州大学
著者標目
友清, 芳二 トモキヨ, ヨシツグ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
不純物ゲツタリング フジユンブツゲツタリング
シリコンウエハー シリコンウエハー
格子歪み コウシヒズミ
酸素析出物 サンソセキシユツブツ
収束電子回折 シユウソクデンシカイセツ
高次ラウエゾーン コウジラウエゾーン