イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲツタリング機構の定量的解析

• Material Type: 図書
• Title: イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲツタリング機構の定量的解析
• Title Transcription: イメージングプレート ・ デンシ カイセツ ニ ヨル ハンドウタイ デバイス ノ ゲツタリング キコウ ノ テイリョウテキ カイセキ
• Author/Editor: 友清, 芳二, 九州大学
• Author Heading: 友清, 芳二 トモキヨ, ヨシツグ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 不純物ゲツタリング フジユンブツゲツタリング; シリコンウエハー シリコンウエハー; 格子歪み コウシヒズミ; 酸素析出物 サンソセキシユツブツ; 収束電子回折 シユウソクデンシカイセツ; 高次ラウエゾーン コウジラウエゾーン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455010
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07455010
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007002995; http://id.ndl.go.jp/bib/000007002995
• Bibliographic Record Category (NDL): 214