トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究
• タイトルよみ: トンネル ブンコウホウ オ モチイタ シリサイド/シリコン カイメン ノ ヒョウカ ト スイソ シュウ タン コウカ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 財満, 鎮明, 名古屋大学
• 著者標目: 著者 ： 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ ( 01210828 )典拠; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク ( 00260057 )典拠
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: シリサイド シリサイド; エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ; 界面 カイメン; トンネル分光法 トンネルブンコウホウ; コンタクト コンタクト; 水素終端 スイソシユウタン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07455024
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07455024
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007003009; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003009
• 整理区分コード: 214