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トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究

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トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究

Call No. (NDL)
Y151-H07455024
Bibliographic ID of National Diet Library
000007003009
Material type
図書
Author
財満, 鎮明, 名古屋大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
トンネル ブンコウホウ オ モチイタ シリサイド/シリコン カイメン ノ ヒョウカ ト スイソ シュウ タン コウカ ノ ケンキュウ
Author/Editor
財満, 鎮明, 名古屋大学
Author Heading
著者 : 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ ( 01210828 )Authorities
名古屋大学 ナゴヤ ダイガク ( 00260057 )Authorities
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリサイド シリサイド
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
界面 カイメン
トンネル分光法 トンネルブンコウホウ
コンタクト コンタクト
水素終端 スイソシユウタン