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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロ カコウ ニ ヨル シュウセキカ トンネル デンリュウ ソクテイキ ト ソノ オウヨウ
- 著者・編者
- 藤田, 博之, 東京大学
- 著者標目
- 藤田, 博之, 1952- フジタ, ヒロユキ, 1952- ( 00221824 )典拠
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- マイクロマシン マイクロマシン表面マイクロマシーニング ヒヨウメンマイクロマシーニング静電アクチユエータ セイデンアクチユエータ真空トンネル電流 シンクウトンネルデンリユウ変位センサ ヘンイセンサ加速度センサ カソクドセンサ原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ走査トンネル顕微鏡 ソウサトンネルケンビキヨウ
- NDLC
- 一般注記
- 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
- 科研費課題番号
- 07455042
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- Y151-H07455042
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
- 書誌ID（NDLBibID）
- 000007003024
- 整理区分コード
- 214