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マイクロ加工による集積化トンネル電流測定器とその応用

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マイクロ加工による集積化トンネル電流測定器とその応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H07455042
国立国会図書館書誌ID
000007003024
資料種別
図書
著者
藤田, 博之, 東京大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロ カコウ ニ ヨル シュウセキカ トンネル デンリュウ ソクテイキ ト ソノ オウヨウ
著者・編者
藤田, 博之, 東京大学
著者標目
藤田, 博之, 1952- フジタ, ヒロユキ, 1952- ( 00221824 )典拠
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
マイクロマシン マイクロマシン
表面マイクロマシーニング ヒヨウメンマイクロマシーニング
静電アクチユエータ セイデンアクチユエータ
真空トンネル電流 シンクウトンネルデンリユウ
変位センサ ヘンイセンサ
加速度センサ カソクドセンサ
原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
走査トンネル顕微鏡 ソウサトンネルケンビキヨウ