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マイクロ加工による集積化トンネル電流測定器とその応用

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マイクロ加工による集積化トンネル電流測定器とその応用

Call No. (NDL)
Y151-H07455042
Bibliographic ID of National Diet Library
000007003024
Material type
図書
Author
藤田, 博之, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロ カコウ ニ ヨル シュウセキカ トンネル デンリュウ ソクテイキ ト ソノ オウヨウ
Author/Editor
藤田, 博之, 東京大学
Author Heading
藤田, 博之, 1952- フジタ, ヒロユキ, 1952- ( 00221824 )Authorities
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
マイクロマシン マイクロマシン
表面マイクロマシーニング ヒヨウメンマイクロマシーニング
静電アクチユエータ セイデンアクチユエータ
真空トンネル電流 シンクウトンネルデンリユウ
変位センサ ヘンイセンサ
加速度センサ カソクドセンサ
原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
走査トンネル顕微鏡 ソウサトンネルケンビキヨウ