ホログラフイツク投影による非平面リソグラフイ法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: ホログラフイツク投影による非平面リソグラフイ法の研究
• タイトルよみ: ホログラフイツク トウエイ ニ ヨル ヒヘイメン リソグラフイホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 羽根, 一博, 東北大学
• 著者標目: 著者 ： 羽根, 一博, 1955- ハネ, カズヒロ, 1955- ( 00901248 )典拠; 東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )典拠
• 出版年月日等: 1995-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 計算機合成ホログラム ケイサンキゴウセイホログラム; 非平面露光 ヒヘイメンロコウ; エンコーダ エンコーダ; 光露光 ヒカリロコウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07455059
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07455059
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007003039; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003039
• 整理区分コード: 214