ホログラフイツク投影による非平面リソグラフイ法の研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: ホログラフイツク投影による非平面リソグラフイ法の研究
Title Transcription: ホログラフイツクトウエイニヨルヒヘイメンリソグラフイホウノケンキュウ
Author/Editor: 羽根, 一博, 東北大学
Author Heading: 著者：羽根, 一博, 1955- ハネ, カズヒロ, 1955- ( 00901248 )Authorities
東北大学トウホクダイガク ( 00305371 )Authorities
Publication Date: 1995-1997
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 計算機合成ホログラムケイサンキゴウセイホログラム
非平面露光ヒヘイメンロコウ
エンコーダエンコーダ
光露光ヒカリロコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455059
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07455059
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007003039
http://id.ndl.go.jp/bib/000007003039
Bibliographic Record Category (NDL): 214