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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウシュウハ スパツタ ジョウチャクホウ ニ ヨル タケッショウ ハンドウタイ オヨビ ダイヤモンド ハクマク ノ テイオンセイマク
- 著者・編者
- 芳井, 熊安, 大阪大学
- 著者標目
- 芳井, 熊安 ヨシイ, クマヤス
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- Si薄膜 SIハクマク多結晶 タケツシヨウ低温成膜 テイオンセイマク高周波スパツタ蒸着法 コウシユウハスパツタジヨウチヤクホウ