高周波スパツタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

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Material Type: 図書
Title: 高周波スパツタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜
Title Transcription: コウシュウハスパツタジョウチャクホウニヨルタケッショウハンドウタイオヨビダイヤモンドハクマクノテイオンセイマク
Author/Editor: 芳井, 熊安, 大阪大学
Author Heading: 芳井, 熊安ヨシイ, クマヤス
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: Si薄膜 SIハクマク
多結晶タケツシヨウ
低温成膜テイオンセイマク
高周波スパツタ蒸着法コウシユウハスパツタジヨウチヤクホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455065
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07455065
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007003044
http://id.ndl.go.jp/bib/000007003044
Bibliographic Record Category (NDL): 214