Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウシュウハ スパツタ ジョウチャクホウ ニ ヨル タケッショウ ハンドウタイ オヨビ ダイヤモンド ハクマク ノ テイオンセイマク
- Author/Editor
- 芳井, 熊安, 大阪大学
- Author Heading
- 芳井, 熊安 ヨシイ, クマヤス
- Publication Date
- 1995-1996
- Publication Date (W3CDTF)
- 1995
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- Si薄膜 SIハクマク多結晶 タケツシヨウ低温成膜 テイオンセイマク高周波スパツタ蒸着法 コウシユウハスパツタジヨウチヤクホウ