走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究
• タイトルよみ: ソウサガタ デンシ ケンビキョウ ナイ マイクロマニユフアクチヤリング ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 森脇, 俊道, 神戸大学
• 著者標目: 森脇, 俊道 モリワキ, トシミチ
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: マイクロマニユフアクチヤリング マイクロマニユフアクチヤリング; 電子顕微鏡 デンシケンビキヨウ; 楕円振動切削 ダエンシンドウセツサク; 切削力 セツサクリヨク; ばり バリ; Walking Drive WALKINGDRIVE; 超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ; XYΘテーブル XYシータテーブル
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07455066
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07455066
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007003045; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003045
• 整理区分コード: 214