走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究

• Material Type: 図書
• Title: 走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究
• Title Transcription: ソウサガタ デンシ ケンビキョウ ナイ マイクロマニユフアクチヤリング ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 森脇, 俊道, 神戸大学
• Author Heading: 森脇, 俊道 モリワキ, トシミチ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: マイクロマニユフアクチヤリング マイクロマニユフアクチヤリング; 電子顕微鏡 デンシケンビキヨウ; 楕円振動切削 ダエンシンドウセツサク; 切削力 セツサクリヨク; ばり バリ; Walking Drive WALKINGDRIVE; 超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ; XYΘテーブル XYシータテーブル
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455066
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07455066
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007003045; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003045
• Bibliographic Record Category (NDL): 214