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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコン ニ オケル テン ケッカン ノ セイギョ ト シミユレーシヨン ヘ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 松本, 智, 慶応義塾大学
- 出版年月日等
- 1995-1997
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- Si中のドーパント (B, P, Sb) 拡散 SIチユウノドーパント (B, P, SB) カクサンBとPの減速拡散 BトPノゲンソクカクサンSbの増速拡散 SBノゾウソクカクサンSi3N4/Si構造 SI3N4/SIコウゾウSi3N4膜応力 SI3N4マクオウリヨクSi中の圧縮歪 SIチユウノアツシユクヒズミ過剰空格子点の発生 カジヨウクウコウシテンノハツセイ格子間原子拡散機構成分 コウシカンゲンシカクサンキコウセイブン