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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- シリコン ニ オケル テン ケッカン ノ セイギョ ト シミユレーシヨン ヘ ノ オウヨウ
- Author/Editor
- 松本, 智, 慶応義塾大学
- Author Heading
- 著者 ： 松本, 智, 1947- マツモト, サトル, 1947- ( 00936348 )Authorities慶応義塾大学 ケイオウ ギジュク ダイガク ( 00256814 )Authorities
- Publication Date
- 1995-1997
- Publication Date (W3CDTF)
- 1995
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- Si中のドーパント (B, P, Sb) 拡散 SIチユウノドーパント (B, P, SB) カクサンBとPの減速拡散 BトPノゲンソクカクサンSbの増速拡散 SBノゾウソクカクサンSi3N4/Si構造 SI3N4/SIコウゾウSi3N4膜応力 SI3N4マクオウリヨクSi中の圧縮歪 SIチユウノアツシユクヒズミ過剰空格子点の発生 カジヨウクウコウシテンノハツセイ格子間原子拡散機構成分 コウシカンゲンシカクサンキコウセイブン