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イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

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イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07455251
国立国会図書館書誌ID
000007003212
資料種別
図書
著者
高橋, 平七郎, 北海道大学
出版者
-
出版年
1995-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
イオン チュウニュウホウ ニ ヨル セツゴウ カイメン ノ ソセイ ・ コウゾウ ヘンカ ト セツゴウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
高橋, 平七郎, 北海道大学
著者標目
高橋, 平七郎 タカハシ, ヘイシチロウ
出版年月日等
1995-1997
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
シリサイド シリサイド
ミキシング ミキシング
耐酸化 タイサンカ
照射促進拡散 シヨウシヤソクシンカクサン
点欠陥 テンケツカン
接合界面 セツゴウカイメン
低温接合 テイオンセツゴウ