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イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

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イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H07455251
Bibliographic ID of National Diet Library
000007003212
Material type
図書
Author
高橋, 平七郎, 北海道大学
Publisher
-
Publication date
1995-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
イオン チュウニュウホウ ニ ヨル セツゴウ カイメン ノ ソセイ ・ コウゾウ ヘンカ ト セツゴウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
高橋, 平七郎, 北海道大学
Author Heading
高橋, 平七郎 タカハシ, ヘイシチロウ
Publication Date
1995-1997
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
シリサイド シリサイド
ミキシング ミキシング
耐酸化 タイサンカ
照射促進拡散 シヨウシヤソクシンカクサン
点欠陥 テンケツカン
接合界面 セツゴウカイメン
低温接合 テイオンセツゴウ