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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- リアルタイム ブンコウ エリプソメトリー ニ ヨル ハンノウセイ イオンエツチング キコウ ノ カイセキ
- 著者・編者
- 杉本, 克久, 東北大学
- 著者標目
- 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年(W3CDTF)
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチングリアルタイム分光エリプソメトリー リアルタイムブンコウエリプソメトリーマルチチヤンネル分光エリプソメータ マルチチヤンネルブンコウエリプソメータイオンビームスパツタリング イオンビームスパツタリング膜厚 マクアツ光学定数 コウガクテイスウ