リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析

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Material Type: 図書
Title: リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析
Title Transcription: リアルタイムブンコウエリプソメトリーニヨルハンノウセイイオンエツチングキコウノカイセキ
Author/Editor: 杉本, 克久, 東北大学
Author Heading: 杉本, 克久スギモト, カツヒサ
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 反応性イオンエツチングハンノウセイイオンエツチング
リアルタイム分光エリプソメトリーリアルタイムブンコウエリプソメトリー
マルチチヤンネル分光エリプソメータマルチチヤンネルブンコウエリプソメータ
イオンビームスパツタリングイオンビームスパツタリング
膜厚マクアツ
光学定数コウガクテイスウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455284
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07455284
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007003244
http://id.ndl.go.jp/bib/000007003244
Bibliographic Record Category (NDL): 214