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超微細接合のための高精度位置決め視覚とプロセスコントロールに関する研究

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超微細接合のための高精度位置決め視覚とプロセスコントロールに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07455290
国立国会図書館書誌ID
000007003250
資料種別
図書
著者
藤本, 公三, 大阪大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウビサイ セツゴウ ノ タメ ノ コウセイド イチギメ シカク ト プロセスコントロール ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
藤本, 公三, 大阪大学
著者標目
藤本, 公三 フジモト, コウゾウ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
高精度位置決め コウセイドイチギメ
視覚システム シカクシステム
視野分離撮像法 シヤブンリサツゾウホウ
輝度分散値 キドブンサンチ
二値化 ニチカ
パターンマツチング パターンマツチング
TAB接合 TABセツゴウ
加圧制御 カアツセイギヨ