超微細接合のための高精度位置決め視覚とプロセスコントロールに関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 超微細接合のための高精度位置決め視覚とプロセスコントロールに関する研究
• Title Transcription: チョウビサイ セツゴウ ノ タメ ノ コウセイド イチギメ シカク ト プロセスコントロール ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 藤本, 公三, 大阪大学
• Author Heading: 藤本, 公三 フジモト, コウゾウ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 高精度位置決め コウセイドイチギメ; 視覚システム シカクシステム; 視野分離撮像法 シヤブンリサツゾウホウ; 輝度分散値 キドブンサンチ; 二値化 ニチカ; パターンマツチング パターンマツチング; TAB接合 TABセツゴウ; 加圧制御 カアツセイギヨ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455290
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07455290
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007003250; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003250
• Bibliographic Record Category (NDL): 214