エキシマレーザーによるセラミツクスの超微細加工に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: エキシマレーザーによるセラミツクスの超微細加工に関する研究
• タイトルよみ: エキシマレーザー ニ ヨル セラミツクス ノ チョウビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 内田, 悦行, 愛知工業大学
• 著者標目: 内田, 悦行 ウチダ, ヨシユキ
• 出版年月日等: 1995-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: レーザーアブレーシヨン レーザーアブレーシヨン; レーザー加工 レーザーカコウ; 微細加工 ビサイカコウ; エキシマレーザー エキシマレーザー; セラミツクス加工 セラミツクスカコウ; 傾斜機能材料 ケイシヤキノウザイリヨウ; 三次元形状計測 3ジゲンケイジヨウケイソク; 光音響診断 ヒカリオンキヨウシンダン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07455295
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07455295
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007003255; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003255
• 整理区分コード: 214