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エキシマレーザーによるセラミツクスの超微細加工に関する研究

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エキシマレーザーによるセラミツクスの超微細加工に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H07455295
Bibliographic ID of National Diet Library
000007003255
Material type
図書
Author
内田, 悦行, 愛知工業大学
Publisher
-
Publication date
1995-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
エキシマレーザー ニ ヨル セラミツクス ノ チョウビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
内田, 悦行, 愛知工業大学
Author Heading
内田, 悦行 ウチダ, ヨシユキ
Publication Date
1995-1997
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
レーザーアブレーシヨン レーザーアブレーシヨン
レーザー加工 レーザーカコウ
微細加工 ビサイカコウ
エキシマレーザー エキシマレーザー
セラミツクス加工 セラミツクスカコウ
傾斜機能材料 ケイシヤキノウザイリヨウ
三次元形状計測 3ジゲンケイジヨウケイソク
光音響診断 ヒカリオンキヨウシンダン