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高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

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高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07458093
国立国会図書館書誌ID
000007004204
資料種別
図書
著者
渡辺, 征夫, 九州大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウシュウハ プラズマ ・ ビリュウシ カン ソウゴ サヨウ ノ ホウデン シュウハスウ イソンセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
渡辺, 征夫, 九州大学
著者標目
渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
微粒子 ビリユウシ
ダスト ダスト
放電周波数依存性 ホウデンシユウハスウイゾンセイ
シランプラズマ シランプラズマ
高周波プラズマ コウシユウハプラズマ
凝集 ギヨウシユウ
プラズマCVD プラズマCVD