高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究
• タイトルよみ: コウシュウハ プラズマ ・ ビリュウシ カン ソウゴ サヨウ ノ ホウデン シュウハスウ イソンセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 渡辺, 征夫, 九州大学
• 著者標目: 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 微粒子 ビリユウシ; ダスト ダスト; 放電周波数依存性 ホウデンシユウハスウイゾンセイ; シランプラズマ シランプラズマ; 高周波プラズマ コウシユウハプラズマ; 凝集 ギヨウシユウ; プラズマCVD プラズマCVD
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07458093
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07458093
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007004204; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004204
• 整理区分コード: 214