図書

高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

Icons representing 図書

高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H07458093
Bibliographic ID of National Diet Library
000007004204
Material type
図書
Author
渡辺, 征夫, 九州大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウシュウハ プラズマ ・ ビリュウシ カン ソウゴ サヨウ ノ ホウデン シュウハスウ イソンセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
渡辺, 征夫, 九州大学
Author Heading
渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
微粒子 ビリユウシ
ダスト ダスト
放電周波数依存性 ホウデンシユウハスウイゾンセイ
シランプラズマ シランプラズマ
高周波プラズマ コウシユウハプラズマ
凝集 ギヨウシユウ
プラズマCVD プラズマCVD