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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- 3 ジゲン キハク プラズマリュウ カイセキ ソフト ノ カイハツ ト ジッショウ
- 著者・編者
- 南部, 健一, 東北大学
- 著者標目
- 南部, 健一 ナンブ, ケンイチ
- 出版年月日等
- 1995-1997
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- 希薄気体流 キハクキタイリユウ高周波放電プラズマ コウシユウハホウデンプラズマプラズマプロセシング プラズマプロセシングPIC法 PICホウ直流放電プラズマ チヨクリユウホウデンプラズマモンテカルロ法 モンテカルロホウフルゴンプラズマ フルゴンプラズマ粒子シミユレーシヨン リユウシシミユレーシヨン