3次元希薄プラズマ流解析ソフトの開発と実証

• Material Type: 図書
• Title: 3次元希薄プラズマ流解析ソフトの開発と実証
• Title Transcription: 3 ジゲン キハク プラズマリュウ カイセキ ソフト ノ カイハツ ト ジッショウ
• Author/Editor: 南部, 健一, 東北大学
• Author Heading: 南部, 健一 ナンブ, ケンイチ
• Publication Date: 1995-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 希薄気体流 キハクキタイリユウ; 高周波放電プラズマ コウシユウハホウデンプラズマ; プラズマプロセシング プラズマプロセシング; PIC法 PICホウ; 直流放電プラズマ チヨクリユウホウデンプラズマ; モンテカルロ法 モンテカルロホウ; フルゴンプラズマ フルゴンプラズマ; 粒子シミユレーシヨン リユウシシミユレーシヨン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555059
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07555059
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007004601; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004601
• Bibliographic Record Category (NDL): 214