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サブ0.1ミクロン薄膜SOI CMOS LSIデバイスの揺らぎに関する研究

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サブ0.1ミクロン薄膜SOI CMOS LSIデバイスの揺らぎに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07555109
国立国会図書館書誌ID
000007004650
資料種別
図書
著者
平本, 俊郎, 東京大学
出版者
-
出版年
1995-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
サブ 0.1 ミクロン ハクマク SOI CMOS LSI デバイス ノ ユラギ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
平本, 俊郎, 東京大学
著者標目
平本, 俊郎 ヒラモト, トシロウ
出版年月日等
1995-1997
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
薄膜SOI MOSFET ハクマクSOIMOSFET
特性ばらつき トクセイバラツキ
しきい値電圧 シキイチデンアツ
サブ0.1ミクロンMOSFET サブ0.1ミクロンMOSFET
完全空乏型SOI MOSFET カンゼンクウボウガタSOIMOSFET
不純物数の統計的揺らぎ フジユンモノカズノトウケイテキユラギ
VLSIデバイス VLSIデバイス