基板上セラミツク薄膜の熱膨張測定装置の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 基板上セラミツク薄膜の熱膨張測定装置の開発
• タイトルよみ: キバン ジョウ セラミツク ハクマク ノ ネツ ボウチョウ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ
• 著者・編者: 花田, 禎一, 京都大学
• 著者標目: 花田, 禎一 ハナダ, テイイチ
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 薄膜熱膨張 ハクマクネツボウチヨウ; 干渉計 カンシヨウケイ; 熱膨張率 ネツボウチヨウリツ; スパツタ スパツタ; 非晶質アルミナ薄膜 ヒシヨウシツアルミナハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07555195
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07555195
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007004728; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004728
• 整理区分コード: 214