基板上セラミツク薄膜の熱膨張測定装置の開発

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Material Type: 図書
Title: 基板上セラミツク薄膜の熱膨張測定装置の開発
Title Transcription: キバンジョウセラミツクハクマクノネツボウチョウソクテイソウチノカイハツ
Author/Editor: 花田, 禎一, 京都大学
Author Heading: 花田, 禎一ハナダ, テイイチ
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 薄膜熱膨張ハクマクネツボウチヨウ
干渉計カンシヨウケイ
熱膨張率ネツボウチヨウリツ
スパツタスパツタ
非晶質アルミナ薄膜ヒシヨウシツアルミナハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555195
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555195
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007004728
http://id.ndl.go.jp/bib/000007004728
Bibliographic Record Category (NDL): 214