イオンビームミキシングプロセスによる高耐久性マイクロパーツの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: イオンビームミキシングプロセスによる高耐久性マイクロパーツの開発
• タイトルよみ: イオンビームミキシングプロセス ニ ヨル コウタイキュウセイ マイクロパーツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 松室, 昭仁, 名古屋大学
• 著者標目: 松室, 昭仁 マツムロ, アキヒト
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: イオンビームミキシングプロセス イオンビームミキシングプロセス; TiN膜 TINマク; 窒化炭素膜 チツカタンソマク; 傾斜機能膜 ケイシヤキノウマク; 機械的性質 キカイテキセイシツ; マイクロパーツ マイクロパーツ; 紫外線硬化樹脂 シガイセンコウカジユシ; 高圧力合成 コウアツリヨクゴウセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07555362
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07555362
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007004884; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004884
• 整理区分コード: 214