イオンビームミキシングプロセスによる高耐久性マイクロパーツの開発

• Material Type: 図書
• Title: イオンビームミキシングプロセスによる高耐久性マイクロパーツの開発
• Title Transcription: イオンビームミキシングプロセス ニ ヨル コウタイキュウセイ マイクロパーツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 松室, 昭仁, 名古屋大学
• Author Heading: 松室, 昭仁 マツムロ, アキヒト
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: イオンビームミキシングプロセス イオンビームミキシングプロセス; TiN膜 TINマク; 窒化炭素膜 チツカタンソマク; 傾斜機能膜 ケイシヤキノウマク; 機械的性質 キカイテキセイシツ; マイクロパーツ マイクロパーツ; 紫外線硬化樹脂 シガイセンコウカジユシ; 高圧力合成 コウアツリヨクゴウセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555362
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07555362
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007004884; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004884
• Bibliographic Record Category (NDL): 214