Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究
• タイトルよみ: Si ケイ チョウコウシ デバイス サクセイ ノ タメ ノ ゲンシ セイギョ CVD ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
• 著者・編者: 室田, 淳一, 東北大学
• 著者標目: 室田, 淳一 ムロタ, ジュンイチ
• 出版年月日等: 1995-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 原子制御CVD装置 ゲンシセイギヨCVDソウチ; Si系超格子デバイス SIケイチヨウコウシデバイス; 瞬時加熱CVD法 シユンジカネツCVDホウ; プラズマ表面処理 プラズマヒヨウメンシヨリ; 極微細デバイス キヨクビサイデバイス; 不純物ドーピング フジユンブツドーピング; W低温選択成長 Wテイオンセンタクセイチヨウ; Langmuir型吸着 LANGMUIRガタキユウチヤク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07555409
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07555409
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007004927; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004927
• 整理区分コード: 214